Schichtdickenmessgeräte

Die Fries Research & Technology GmbH stellt unter anderem auch Schichtdickenmessgeräte her. Diese Systeme werden im eigenen Haus entwickelt, konstruiert, gebaut und von einem weltweit agierenden Vertriebsnetz verkauft. In sehr vielen Bereichen der Oberflächenprüfung gewinnt die Schichtdickenmessung immer mehr an Bedeutung. Die genaue Untersuchung der Schichten auf einer Probe oder von einem Bauteil bedürfen höchster Perfektion und vor allem sind Schichtdickenmessgeräte mit höchster Auflösung und absoluter Präzision gefordert. Die FRT GmbH ist als Unternehmen, das sich neben der Fertigung und dem Verkauf von Messgeräten zusätzlich schon seit Jahren als Dienstleistungslabor für Oberflächenanalysen und Bruchstellenanalysen etabliert hat, weltweit einzigartig, was diese Kombination von Erfahrung und Know-how angeht.
Bei der FRT GmbH erhalten Sie optische Messtechnik auf dem neuesten Stand der Forschung und Entwicklung:

• Schichtdickenmessgeräte
• Rauheitsmessgeräte
• Individuelle Messsysteme nach Kundenanforderungen
• Mehr als 15 optische Sensoren
• Oberflächenanalyse als Dienstleistung  

Die Schichtdickenmessgeräte von Fries Research & Technology sind besonders gut für transparente und glatte Schichten geeignet. Die Sensoren arbeiten nach dem Messprinzip der interferometrischen Schichtdickenmessung. Der optische Messkopf arbeitet mit einem kleinen Messfleck, so dass in einem rasternden Messsystem Schichtdickenverteilungen mit hoher Ortsauflösung aufgenommen werden können. Die Schichtdickenmessung beruht auf der spektralen Auswertung der Überlagerung der an den Grenzflächen einer Schicht reflektierten Teilwellen. Bei gegebener Schichtdicke und Brechzahl variiert die Intensität der überlagerten Teilstrahlen mit der Wellenlänge. Das Spektrum zeigt dann eine typische Welligkeit, aus der die Schichtdicke bestimmt wird. In einem Mehrschichtsystem können so einzelne Schichten selektiert werden.

Schichtdickenmessgeräte von FRT sind mit einem Dünnschicht-Punktsensor ausgestattet, der in der Software positioniert wird. Das Messobjekt wird gescannt und so die ortsaufgelöste Schichtdickenverteilung gemessen. Der Sensor ist ideal für schnelle Messungen an Schichten > 2µm, insbesondere auch für das Mapping solcher Schichtdicken.

Weitere Eigenschaften:

• Punktuelle Schichtdickenmessung mit Weißlicht
• Hohe Auflösung und Genauigkeit
• Geeignet für transparente und glatte Schichten
• Hohe Ortsauflösung durch kleinen Messfleck
• Schichtdickenmapping in Kombination mit FRT MicroProf und MicroGlider
• Wellenlängenbereich von ca. 400 nm ... 850 nm
• Messbereich 2 µm ... 200 µm
• Dünnschichtsensoren mit dem Messprinzip der Reflektometrie
• Wellenlängenbereiche zwischen 250 nm bis 1100 nm
• Messbereiche der Schichtdicke zwischen 10 nm und 70 µm
• Auflösung Schichtdicke 1 nm
Auflösung x,y zwischen 200 µm und 800 µm

Für weitere Informationen über
Geräte zur Messung der Schichtdicke